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초고속 고온 소결(UHS)을 적용한 AlN의 정전척 활용 가능성 탐구

제목
초고속 고온 소결(UHS)을 적용한 AlN의 정전척 활용 가능성 탐구
저자
Jaehun Cho
학회명
2025 한국반도체디스플레이기술학회
개최지
명지대학교 자연캠퍼스 제3공학관 1층

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