Lithium Phosphorius Oxy Nitride(Lipon) 고체 전해질 박막의 이온전도도에 미치는 RF sputtering power의 효과

영문제목

초록

최근 전자기기들의 소형화,회로설계 기술의 발전 전가부품의 개선에 힘입어 요구되는 전류의 양이 크게 낮아지는 추세에 부응하여,박막가공기술을 전자산업에 이용하여 전 고상 형태의 박막전지를 제작함으로써,소형 전자기기의 자체동력원으로 사용하려는 연구가 진행되고 있다.

제목
Lithium Phosphorius Oxy Nitride(Lipon) 고체 전해질 박막의 이온전도도에 미치는 RF sputtering power의 효과
제목 (타언어)
영문제목
저자
YONGSUG TAK
학회명
2001년 춘계 전기화학회