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초록
새로이 합성한 MOCVD 전구체인 Ta(N-alkoxy-b-ketoiminate)(OEt)3 및 Nb(N-alkoxy-b-ketoiminate)(OEt)3 를 이용하여, Ta2O5와 Nb2O5 박막을 제조하였다. 기존의 전구체인 Ta(OEt)5 또는 Nb(OEt)5에 비해 증착효율이 7배가량 높았으며, 박막의 품질 또한 우수하였다.
- 제목
- 새로운 MOCVD 전구체를 이용한 Ta2O9와 Nb2O5 박막
- 제목 (타언어)
- Ta2O5 and Nb2O5 Films Produced by New MOCVD Precursors
- 저자
- LEE WAN IN
- 학회명
- 대한화학회 제85회 총회 및 학술발표회