금속 촉매의 형태에 따른 실리콘 습식 식각의 특성 평가

초록

필름 형태의 촉매와 나노 입자 형태의 촉매를 사용하여 실험을 진행하였고, 그 결과를 비교하였다. 필름 형태일 때는 식각 시간이 증가함에 따라 서서히 반사율이 감소되었고 나노 입자 형태일 때는 반사율이 약 3 % 밑으로 급속하게 떨어졌다.