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초록
MBE로 성장된 AlGaAs/GaAs 에피 웨이퍼를 이용하여 HBT 를 제작하였다. 제작된 소자의 특성에 크게 영향을 미치는 오믹 특성의 향상을 위하여 단위 공정을 수행하였다. 또한, 제작된 HBT는 HP4145B와 HP8510C를 이용하여 DC 및 AC 특성을 측정하였다.
- 제목
- ft=42Ghz의 AlGaAs/GaAs 전력용 HBT 설계 및 제작에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- Study on Design and Fabrication of ft=42Ghz AlGaAs/GaAs Power HBT
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 대한전자공학회 추계종합학술대회 논문집