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초록
본 연구에서는 초미세 소자의 제작시 문제가 되는 산화막의 3차원적인 거동을 분석하고, 유한요소법을 사용하여 시뮬레이션하기 위한 3차원 메쉬 생성기를 제작하였다. 3차원 메쉬의 기본 요소로는 산화막의 3차원적인 형상을 나타내기 위하여 사면체를 사용하였고, 산화막의 성장에 따라서 실리콘 영역의 노드를 제거해 나가고, 산화막 영역에 새로운 노드를 생성함으로서, 방대한 메모리 양의 증가를 방지하고, 계산의 오차를 감소시켰다.
- 제목
- 열산화 공정 시뮬레이션을 위한 3차원 메쉬 생성기 제작
- 제목 (타언어)
- Three-Dimensional Mesh Generation for Thermal Oxidation
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 대한전자공학회 추계종합학술대회 논문집