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High-k 유전박막 MIS 커패시터의 플라즈마 etching damage에 대한 연구

Plasma Etching Damage of High-k Dielectric Layer of MIS Capacitor
  • LEE EL HANG
제목
High-k 유전박막 MIS 커패시터의 플라즈마 etching damage에 대한 연구
제목 (타언어)
Plasma Etching Damage of High-k Dielectric Layer of MIS Capacitor
저자
LEE EL HANG
학회명
전자공학회 하계종합학술대회

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