RF 열플라즈마를 이용한 실리콘 나노분말 합성

  • DONG WHA PARK
제목
RF 열플라즈마를 이용한 실리콘 나노분말 합성
저자
DONG WHA PARK
학회명
한국화학공학회 2014년도 봄 총회 및 학술대회
개최지
창원컨벤션센터
학회 개최일
2014-04-23 ~ 2014-04-25