Ni계 나노결정질 합금전착에서의 결정조직에 따른 기계적 성질의 변화

초록

Ni-W과 Ni-P 합금전착층에서 결정립 크기가 20nm이하로 작아지게 되면 Hall-Petch식에서 벗어나 경도 상승이 급격히 둔화되는데 그 이유는 다음과 같이 생각된다. 결정립 크기가 계속 감소함에 따라 나노결정질에서 비정질화하는 초기단계로 발전하게되는데, 이때 합금전착층에 침입형으로 고용된 W이나 P은 침입형자리에서 이탈하게 도고 이는 격자 왜곡이 완화되어 고용강화효과의 감소를 가져오는 것으로 판단된다. 뿐만 아니라 결정조직의 일부에서는 비정질화가 진행되기 시작하여 조직은 전위, 석출물 등이 미세하게 존재하는 미세결정립과 결정 방향성이나 입계와 입내의 구분등이 상실된 비정질조직의 혼합조직으로 인하여 변화되고, 이것이 경도 상승을 둔화시키는데 기여하는 것으로 판단된다.