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홀로우 캐소드 플라즈마를 이용한 고밀도 수소플라즈마 생성

High density hydrogen plasma by hollow cathode plasma
  • PARK SEGEUN
제목
홀로우 캐소드 플라즈마를 이용한 고밀도 수소플라즈마 생성
제목 (타언어)
High density hydrogen plasma by hollow cathode plasma
저자
PARK SEGEUN
학회명
한국 반도체 디스플레이 기술학회 2011년 춘계학술대회
개최지
서울대학교 엔지니어하우스
학회 개최일
2011-06-02 ~ 2011-06-02

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