Fe2O3/SiO2를 이용한 유전체 다층박막의 온도에 따른 광학적 구조적 특성 연구

초록

전자총에 의한 증착법과 이온빔 보조증착방법을 이용하여 제작한 Fe2O3 단층박막과 Fe2O3 와 SiO2를 이용한 유전체 다층박막의 광학적, 구조적 특성을 비교 분석하였다. Fe2O3 단층박막의 경우, 열처리에 따른 박막의 결정화 정도를 XRD 실험을 통해 확인하였다. 이온빔 보조증착을 한 Fe2O3 박막의 경우가 이온빔 보조증착을 하지 않은 Fe2O3 박막의 경우보다 열처리 시 결정화 속도가 느리게 나타났다. 고굴절률 물질로는 Fe2O3 와 저굴절률 물질로 SiO2를 이용하여 제작한 장파장 투과필터의 경우 이온빔 보조 증착을 한 장파장 투과필터의 경우가 이온빔 보조증착을 하지 않은 장파장 투과필터 경우에 비해 600℃ 고온에서의 투과율의 변화가 적은 것을 확인할 수 있었다. 결과적으로 이온빔 보조증착을 이용하여 제작한 장파장 투과필터의 내구성이 더 우수하다는 것을 알 수 있었다.