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Development of New Ethcing Gas for Cu Dry Etching and Dry Etching Process with Small Chelators
- 제목
- Development of New Ethcing Gas for Cu Dry Etching and Dry Etching Process with Small Chelators
- 저자
- DONG WOOK KIM
- 학회명
- 2019 한국공업화학회 추계 총회 및 학술대회
- 개최지
- 제주 ICC
- 학회 개최일
- 2019-10-30 ~ 2019-11-01