자기변형 박막 구동기를 이용한 무선 마이크로 광학시스템의 개발

Development of Magnetostrictive Thin Film Actuators for Micromachined Wireless Optical Mirror Systems
제목
자기변형 박막 구동기를 이용한 무선 마이크로 광학시스템의 개발
제목 (타언어)
Development of Magnetostrictive Thin Film Actuators for Micromachined Wireless Optical Mirror Systems
저자
CHO CHONG DU
학회명
제 9회 한국 MEMS 학술대회