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초록
가시광영역과 근적외선 영역에서 높은 굴절률을 가지는 Nb2O5를 end-Hall형 이온원 을 이용하여 Ar 이온 보조 증착법으로 제작하였으며, 이온빔 보조 증착하지 않은 박막과의 광학적 특성을 비교하였다. 또한 이온빔 전류밀도와 반응산소의 양을 변화시키면서 이온빔 보조 증착 박막의 광학적 특성 변화를 알아보았다. Nb2O5박막의 광학적 특성은 분광 광도계(Cary 500, Varian)를 이용하여 측정한 반사율과 투과율로부터 포락선 방법으로 계산하였다.
- 제목
- 이온빔 보조 증착 Nb2O5 박막의 광학적 특성
- 제목 (타언어)
- Optical Properties of Nb2O5 Thin Films prepared by Ion-Beam Assisted Deposition
- 저자
- CHANG KWON HWANGBO
- 학회명
- 한국광학회 2001년도 하계학술발표회