DWDM 광통신 박막필터(TFF)의 잔류응력 완화에 대한 연구

초록

DWDM 광통신용 TFF(Thin Film Filter)의 성형시 발생되는 변형을 제어하기 위해, 기판의 재료선택 및 형상설계 그리고 후가공 공정 방안을 연구 하였다. 박막증착시에 필연적으로 발생하는 응력의 원인을 검토하고 이를 효과적으로 제어하기 위한 기판두께 선정 및 후가공 조건 등의 변화를 통해서 기판(wafer)의 굽힘(bending)변형을 최소화 할 수 있었으며, 결과적으로 중심파장(CWL:Center Wavelength)의 변화, 삽입손실(Insertion Loss), 격리(Isolation)등의 광학적 특성이 향상된 필터를 안정적으로 제작할 수 있었다.