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초록
RF 마그네트론 스퍼터링으로 광학용 TiNx 박막을 제작하고 광학적 특성을 분석하였다.
- 제목
- RF마그네트론 스퍼터링을 이용한 광학용 TiNx 박막의 제작
- 제목 (타언어)
- Fabrication of Optical TiNx Films using RF Magnetron Sputtering
- 저자
- CHANG KWON HWANGBO
- 학회명
- 한국진공학회학술발표회논문집
RF 마그네트론 스퍼터링으로 광학용 TiNx 박막을 제작하고 광학적 특성을 분석하였다.