마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Al-Ni foils의 박막 제조 및 미세구조 특성

  • KIM HYUNG SUN
제목
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Al-Ni foils의 박막 제조 및 미세구조 특성
저자
KIM HYUNG SUN
학회명
한국표면공학회