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초록
본 연구에서 제작된 3차원 몬테카를로 이온 주입 시뮬레이터는 이온 주입 에너지, 입사되는 이온의 종류, 이온 주입량, 이온의 입사각과 회전각, 타겟 레이어의 종류 및 조합, 타겟 레이어의 두께와 면적, 3차원 마스크 구조 등의 변수를 고려하여 이와 같은 3차원 분포를 예측할 수 있도록 개발되었다.
- 제목
- 3차원 이온 주입 시뮬레이터 개발에 관한 연구
- 제목 (타언어)
- A Study of Three Dimensional Ion Implantation Simulator
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 한국전기전자재료학회 추계학술대회 논문집