AlN 박막을 이용한 5.2 GHz Wireless Local Area Network용 박막형 체적탄성파 공진기의 제조 및 특성

초록

최근 정보통신 분야의 급격한 발달로 인하여 무선통신에 사용되는 주파수 영역 또한 계속 높아짐에 따라 대역통과 필터소자의 삽입손실, 소비 전력, 크기, MMIC화에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 압전현상을 이용한 박막형 공진기가 이러한 욕구를 충족시키고, 현재의 SAW filter를 대체할 소자로 떠오르고 있다. 본 실험에서는 단결정 미세 구조를 만들 수 있고, 압전효과 또한 우수하며, Surface Micromachining보다 비교적 제조공정이 간단하고 선택적 에칭이 가능한 Bulk Micromachining을 이용하여 Si3N4 Membrane을 이용한 중심주파수 5.2 GHz 인 두께 진동모드 FBAR를 제작하고 공진기의 고주파 특성을 평가하였다.