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초록
일반적인 반응이온 마그네트론 스퍼터링이 행해지는 압력영역보다 낮은 압력에서 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링에 이온빔-보조증착의 장점을 적용하여 높은 조밀도와 매끄러운 표면을 가지는 비정질의 광학박막을 증착하고자 하였다. 이온빔-보조 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 광학코팅용 TiO2 박막의 광학적, 구조적 특성을 연구하였으며, 일반적인 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 박막과 비교하였다.
- 제목
- 이온빔-보조 DC반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO2 박막의 광학적 특성
- 저자
- CHANG KWON HWANGBO
- 학회명
- The 22nd Annual Conference of The Korean Vacuum Society