정전기방전에 의해 발생하는 전압파형의 새로운 측정장치

초록

전자 기기 제품의 고 기능화나 경박 단소화 저소비 전력화의 배경에는 VLSI등의 반도체 집적화 기술의 진전에 의해 이루어지고 있다. 이러한 고 집적화 미세화가 이루어지는 한 정전기 방전에 대한 장해의 증가는 필연적인 현상이다. 최근 정보산업의 눈부신 발전으로 인해 우리 주변 전자기기에 집적화 된 반도체 소자들이 많이 쓰이고 있다. 다시 말하면 대전된 사람과의 접촉 시 발생하는 전자기장에 의해 장해가 발생할 확률이 그 만큼 많아지게 되었다. 이런 이유로 우리 주변에서 흔히 발생하는 정전기 방전시 발생하는 field 의 형태를 알아보기 위해 이를 측정하는 새로운 방법을 제안한다. 기존 전압/전류를 분리 측정하는 방법과는 달리, 측정 임피던스를 흐르는 방전전하를 통한 전류와 그 때 임피던스 양단에 나타나는 전위차로부터 두 가지를 동시에 측정하였으며 신호 왜곡을 막기 위해 동축선로의 특성 임피던스와 센서부의 출력임피던스, 오실로스코우프의 입력임피던스를 모두 50[Ω]으로 정합시켰다. 본 논문에서 제안한 센서의 교정실험과 실증실험을 통해 아무런 감쇠없이 측정할 수 있음을 확인하였고, 센서의 성능을 검증할 수 있었다.