PC 윈도우즈 환경하의 반도체 공정 시뮬레이터 개발

초록

본 연구에서 제작한 TCAD는 마이크로소프트사의 윈도우즈 환경에서 동작하는 통합 환경 2차원 공정 시뮬레이터로서 그 구성은 Editor, Parser 각 단위 공정 모듈 및 Graphic Routine등을 포함하고 있다. 본 연구에서 제작한 TCAD는 통합 환경으로서, 각 단위 공정들의 계산뿐만 아니라 한 프로그램 안에서 Editing 과 Debugging이 모두 가능하도록 제작되었다.