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Nanostructural and Chemical Bonding Features of nc-Si:H Thin Films Prepared by PECVD Techniques with Various Alternating Current Biases Conditions
CHO NAMHEE
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HARVARD
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제목
Nanostructural and Chemical Bonding Features of nc-Si:H Thin Films Prepared by PECVD Techniques with Various Alternating Current Biases Conditions
저자
CHO NAMHEE
학회명
2009년 한국세라믹학회 추계총회 및 연구발표회
학회 개최일
2009-10-19 ~ 2009-10-20
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