PDP전자파 장해 차폐용 저저항 투명 전도성 필터의 제작

초록

투명 전도성 박막은 저방출 코팅, 평판디스플레이의 투명전극, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 전자파 장해 차폐 등의 넓은 영역에서 사용되고 있다. 특히 PDP의 전자파 장해(electromagnetic interference; EMI)를 막기 위한 필터는 광학적으로 가시광선영역의 높은 투과율과 전도성이 우수한 전기적 특성을 갖고 있어야 한다. 이러한 고 효율의 투명전도성 박막은 일반적으로 [산화물-금속-산화물] 형태로 제작된다. 산화물에는 가시광선 영역의 높은 투과율과 기계적 안정성, 화학적 내구성, 스퍼터링 제작과정의 편이성 등 때문에 TiO2와 같은 높은 굴절률의 물질들이 사용된다. 또한 전도성을 향상시키기 위해 ITO를 사용하기도 한다. 금속물질로는 전기전도도가 뛰어나고 가시광선영역에서 흡수가 적은 Ag가 주로 사용된다.