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초록
Soft-lithography 기술 중의 하나인 Micro-Contact Printing (u-CP) 기술은 패턴이 형성된 mold 위에 고분자 물질을 코팅하고 기판과 접촉시켜, 패턴 된 부분만 기판으로 전사시켜 패턴을 형성하는 방법이다.
- 제목
- 마이크로 컨택 프린팅을 이용하여 유기기판 위에 패턴 형성하는 방법
- 저자
- LEE SEUNG GOL
- 학회명
- 한국진공학회 제46회 동계정기학술대회
- 개최지
- 보광휘닉스파크
- 학회 개최일
- 2014-02-10 ~ 2014-02-12