역문제로 취급한 가우스 동 결상광학계의 OTF 해석

초록

레일리의 븐해한계를 극복하기 위하여 분해하고자 하는 선폭을 갖는 진폭회절상을 가우스 함수로 초기에 정의하여, 이 회절상을 역푸리에 변환하여 가우스 동함수를 구한다. 이 동함수에 의해 결상되는 회절상의 분해능이 레일리 분해한계보다 작다는 것을 증명하였다. 가우스 동과 레일리동 결상계의 OTF를 비교하면 낮은 주파수영역에서 가우스 동의 경우가 OTF가 크다. 이 때 각 동의 OTF가 일치하는 공간주파수가 있으며, 이 영역이하에서의 분해능은 레일리의 분해한계이상임을 의미한다. 그러나 이와 같은 역문제로 취급한 분해능 향상연구에서 분해하고자 하는 선폭을 무조건 작게 한다고하면 동함수는 레일리 동함수가 되므로 가우스 동의 분해능이 향상되는 효과를 볼 수 없게 된다. 즉, 분해하고자 하는 선폭의 크기에 제한이 있게 된다. 이 제한성을 OTF로 부터 해석하고자 한다.