Sol-Gel법에 의한 PMN-PT 강유전성 박막의 제조 및 특성

초록

일반적으로 Pb(Mg1/3Nb2/3)O3(PMN)-PbTiO3(PT) 고용체는 전기적, 기계적 특성이 우수하여 PMN에 고용되는 PT의 양을 조절하여 최대 유전율 값을 갖는 Tc점의 변화가 가능한 물질이지만 PMN-PT 고용체를 합성할 때 저온 영역에서 유전 상수의 값이 작은 pyrochlore상의 물질이 먼저 생성되어 강유전성 특성을 나타내는 perovskite상의 물질로의 전이가 어려운 것으로 알려져 있다. 본 연구에서는 솔-젤법을 이용하여 PMN-PT 졸-용액을 제조한 후 Pt/Ti/SiO2/Si 기판 위에 spin-coating 법을 이용하여 PMN-PT 박막을 제조하였다. 박막 제조시 Pb excess의 양, 건조 조건, 열처리 온도, 열처리 방법을 변회시켜 이 실험 변수들이 perovskite상의 생성에 미치는 영향을 XRD, FT-IR등을 이용하여 알아보았다.