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실리콘과 알루미늄 동시 스퍼터에 의한 nc-Si:H 박막 내 나노결정 제조

Formation of nanocrystallites in nc-Si:H films by co-sputtering aluminium and silicon
  • CHO NAMHEE
제목
실리콘과 알루미늄 동시 스퍼터에 의한 nc-Si:H 박막 내 나노결정 제조
제목 (타언어)
Formation of nanocrystallites in nc-Si:H films by co-sputtering aluminium and silicon
저자
CHO NAMHEE
학회명
2006년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제 10회 신소재 심포지엄

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