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Effect of Substrate Alternating Current Bias on the Nanostructural, Chemical, Mechanical Features of nc-Si:H Films

Nc-Si:H 박막 증착시 기판에 AC-Bias 인가에 의한 구조적, 기계적, 화학적 특성 분석

CHO NAMHEE

제목: Effect of Substrate Alternating Current Bias on the Nanostructural, Chemical, Mechanical Features of nc-Si:H Films

제목 (타언어): Nc-Si:H 박막 증착시 기판에 AC-Bias 인가에 의한 구조적, 기계적, 화학적 특성 분석

저자: CHO NAMHEE

학회명: 2011년 한국세라믹학회 춘계총회 및 연구발표회

개최지: 경기대학교, 경기도 수원시

학회 개최일: 2011-04-21 ~ 2011-04-22