DC 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 Co 박막의 Brillouin light scattering 연구

초록

DC 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 Co /Cu /Si(100), Co/Si(100)박막을 온도와 압력을 변화시켜 그 자기적 특성을 연구하였다. 두께 60 nm 의 Co 박막의 미세구조와 자기적 특성은 X-선 회절기, 진동 시료 자력계, Brillouin light scattering 를 통해 조사되었다. X-선 회절상에서 박막의 표면온도가 250 °C 에서 (200)면으로 우선 배양면을 가졌다. 자기 이력 곡선에서 자화값과 보자력은 표면 온도와 증착 압력을 변화시켜 나타난 함수로써 관찰되었고, 상온의 Co 박막의 보자력은 buffer layer 가 있는 박막이 buffer layer 가 없는 박막보다 크게 나타났다. 증착 조건이 다른 Co 박막의 스핀파와 탄성파는 상온에서 Brillouin light scattering 에 의해 조사되었으며, Damon-Eshbach 표면 모드와 bulk 의 정상 모드의 이론적인 표현에서 g 는 자기 회전 비율, 4pM 는 자화값, D 는 스핀파 굳기 상수를 나타낸다. 스핀파 진동수를 이용하여 결정한 자기적 상수는 자기 이력 곡선에서 얻은 값과 비교하였다.