ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

ITO 흡수체를 가지는 극자외선 리소그래피용 감쇠형 위상변위 마스크의 광학적 설계

  • CHANG KWON HWANGBO
제목
ITO 흡수체를 가지는 극자외선 리소그래피용 감쇠형 위상변위 마스크의 광학적 설계
저자
CHANG KWON HWANGBO
학회명
제 35회 한국진공학회 하계 정기학술대회

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.