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TiN 기판상에서 CVD 텅스텐의 핵생성 및 성장 속도

  • CHONGMU LEE
제목
TiN 기판상에서 CVD 텅스텐의 핵생성 및 성장 속도
저자
CHONGMU LEE
학회명
1992년도 한국전지전자재료학회 추계학술논문집

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