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TiN 기판상에서 CVD 텅스텐 막의 성장

  • CHONGMU LEE
제목
TiN 기판상에서 CVD 텅스텐 막의 성장
저자
CHONGMU LEE
학회명
1992년도 한국 재료 학회 추계 학술발표 강연 및 논문 개요집

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