[TiO2|Ti|Ag|TiO2]N 구조의 저방출 필터 제작

초록

광학 박막 설계 프로그램인 Essential Macleod을 이용하여 [TiO2|Ti|Ag|TiO2]를 저방출 필터의 1 주기 기본 구조로 설정하고 이를 반복함에 의해 4 주기까지 기본 구조들을 설계하였으며 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작하여 각 필터들의 광학적, 전기적, 구조적 특성을 분석하였다. 4 주기 구조의 면저항과 방출도는 2.75 Ω/□과 0.035로 유해 전자기파 차단의 기준에서 공공시설의 이용에 적합한 class A regulation(2～3 Ω/□)을 만족하고 최적화한 3 주기 구조의 면저항과 방출도는 1.6 Ω/□과 0.021로 제작한 필터들 가운데 가장 작은 값을 나타내었으며 주거 환경의 이용에 적합한 class B regulation(1～2 Ω/□)을 만족한다. 위의 결과로부터 최적화한 3 주기 구조가 가시광선의 평균 투과율이 57 %로 높고 유해 전자기파도 잘 차단하는 구조로 가장 우수한 성능을 나타내었다.