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반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 투명전도성 SnO2:Sb 박막특성

제목
반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법에 의한 투명전도성 SnO2:Sb 박막특성
저자
CHEON LEE
학회명
한국표면공학회 추계학술발표회(충남대)

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