YIG 후막의 특성에 미치는 기판과 냉간 정수압의 영향

초록

YIG (Yttrium Iron Garnet)계 ferrite는 수 GHz의 주파수 범위에서 자기적 손실이 작은 재료로서 oscillator, isolator, circulator 등의 microwave용 소자에 널리 이용되고 있으며, 최근 microwave용 소자의 경박단소화의 필요로 가네트형 ferrite의 박막 및 후막화에 대한 관심이 증대되고 있다. 본 연구에서는 MMIC(Monolithic Microwave Integrated Circuit)용 YIG 후막을 제조하기 위하여 경제적이며 두께 조절이 용이한 screen printing법으로 YSZ(Yttrium Stabilized Zirconia)기판과 alumina기판 위에 두께가 수십 ㎛정도인 다결정 YIG 후막의 제조 조건을 검토하였다. 이들 기판과 YIG 후막과의 상호확산에 관한 고찰, YIG 후막의 치밀화를 위한 CIP(Cold Isostatic Pressure)의 영향, 첨가제인 Fe2O3 함량이 다결정 YIG 후막의 미세구조, 포화자화(4πMs) 및 강자성공명 흡수선폭(ΔH) 등의 자기적 특성에 미치는 영향에 대하여 중점적으로 검토하였다.