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Al0.3Ga0.7As/GaAs 다중구조의 레이저 직접 건식식각
Laser Direct Dry Etching of Al0.3Ga0.7As/GaAs Multi-layer Structures
- 제목
- Al0.3Ga0.7As/GaAs 다중구조의 레이저 직접 건식식각
- 제목 (타언어)
- Laser Direct Dry Etching of Al0.3Ga0.7As/GaAs Multi-layer Structures
- 저자
- CHEON LEE
- 학회명
- '96 대한전기학회 하계 학술대회 논문집