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일괄식각공정으로 제작된 Hgih-k 유전박막의 MIS 커패시터의 플라즈마 damage 분석
일괄식각공정으로 제작된 Hgih-k 유전박막의 MIS 커패시터의 플라즈마 damage 분석
- 제목
- 일괄식각공정으로 제작된 Hgih-k 유전박막의 MIS 커패시터의 플라즈마 damage 분석
- 제목 (타언어)
- 일괄식각공정으로 제작된 Hgih-k 유전박막의 MIS 커패시터의 플라즈마 damage 분석
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- 한국반도체학술대회