집속된 아르곤 레이저를 이용한 Mn-Zn Ferrite 의 열화학적 습식식각

Thermochemical Wet Etching of Mn-Zn Ferrite with Focused Ar+ Laser Beam
제목
집속된 아르곤 레이저를 이용한 Mn-Zn Ferrite 의 열화학적 습식식각
제목 (타언어)
Thermochemical Wet Etching of Mn-Zn Ferrite with Focused Ar+ Laser Beam
저자
CHEON LEE
학회명
제4회 한국반도체 학술대회