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초록
본 연구진이 개발한 INPROS는 유닉스 및 PC 윈도우 환경에서 동작하는 통합환경 2차원 및 3차원 반도체 공정 시뮬레이터이다. 2D/3D INPROS의 구성은 마스크 생성 모듈 및 이온 주입, 확산, 산화 등의 공정 모듈과 유한요소법을 사용한 각 공정의 해석을 위하여 2차원 및 3차원 메쉬 생성기, 그리고 전체 모듈들의 연결을 위한 데이터 관리 모듈로 구성되어 있다.
- 제목
- TCAD 응용을 위한 INPROS
- 제목 (타언어)
- INPROS(Inha Process Simulators) for Technology CAD Application
- 저자
- WON TAEYOUNG
- 학회명
- 제3회 한국반도체 학술대회 논문집