상세 보기
Maskless lithography 및 Electro plating을 이용한 MEMS probe tip 제작
Fabrication of MEMS Probe Tip using Maskless Lithography and Electro Plating
- 제목
- Maskless lithography 및 Electro plating을 이용한 MEMS probe tip 제작
- 제목 (타언어)
- Fabrication of MEMS Probe Tip using Maskless Lithography and Electro Plating
- 저자
- 조명우
- 학회명
- 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회
- 개최지
- 제주도 라마다 호텔
- 학회 개최일
- 2014-05-14 ~ 2014-05-16