PLD에 의한 ZnO 박막성장에서 열처리와 산소분압이 광학특성에 미치는 영향

Influence of annealing and oxygen flow on the optical properties of ZnO thin film grown by PLD
제목
PLD에 의한 ZnO 박막성장에서 열처리와 산소분압이 광학특성에 미치는 영향
제목 (타언어)
Influence of annealing and oxygen flow on the optical properties of ZnO thin film grown by PLD
저자
CHEON LEE
학회명
13회 한국반도체학술대회