3차원 집적 공정 시뮬레이션:INPROS

초록

실제의 생산라인에서 제조하기에 앞서서 컴퓨터를 이용한 프로세스 시뮬레이션으로 소자의 제조 공정을 예측하면, 실제로 LSI를 시험 제작하여 전기적 특성을 검증하는 시간과 비용을 단축할 수 있기 때문에 반도체 공정 시뮬레이터를 사용하고 있다. 그럼에도 불구하고, 통합된 환경에서 반도체 기본 공정을 순차적으로 시뮬레이션 할 수 있는 국산 소프트웨어 개발은 초보 단계에 있다. 본 논문에서는 본 연구 그룹이 개발 중인 3차원 반도체 공정 시뮬레이터 INPROS 시스템의 현재 개발 상황과 향후 개발 방향을 발표한다.