ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

나노임프린팅용 탬플릿의 내구성 연장을 위한 질화고문자박막

Durability enhancement of nano-imprint templates by natrided polymer films
  • PARK SEGEUN
제목
나노임프린팅용 탬플릿의 내구성 연장을 위한 질화고문자박막
제목 (타언어)
Durability enhancement of nano-imprint templates by natrided polymer films
저자
PARK SEGEUN
학회명
한국 반도체 디스플레이 기술학회 2011년 춘계학술대회
개최지
서울대학교 엔지니어하우스
학회 개최일
2011-06-02 ~ 2011-06-02

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.