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Al0.3Ga0.7As/GaAs 다층구조의 레이저 직접 식각 특성
Characteristicsw of Laser Dry Etching of Al0.3Ga0.7As/GaAs Multi-layer
- 제목
- Al0.3Ga0.7As/GaAs 다층구조의 레이저 직접 식각 특성
- 제목 (타언어)
- Characteristicsw of Laser Dry Etching of Al0.3Ga0.7As/GaAs Multi-layer
- 저자
- CHEON LEE
- 학회명
- 제3회 한국 반도체 학술대회