Al0.3Ga0.7As/GaAs 다층구조의 레이저 직접 식각 특성

Characteristicsw of Laser Dry Etching of Al0.3Ga0.7As/GaAs Multi-layer
제목
Al0.3Ga0.7As/GaAs 다층구조의 레이저 직접 식각 특성
제목 (타언어)
Characteristicsw of Laser Dry Etching of Al0.3Ga0.7As/GaAs Multi-layer
저자
CHEON LEE
학회명
제3회 한국 반도체 학술대회