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표면탄성파 필터용 Pt 전극의 C4F8/Ar/Cl2 plasma Pt 식각

표면탄성파 필터용 Pt 전극의 C4F8/Ar/Cl2 plasma Pt 식각
제목
표면탄성파 필터용 Pt 전극의 C4F8/Ar/Cl2 plasma Pt 식각
제목 (타언어)
표면탄성파 필터용 Pt 전극의 C4F8/Ar/Cl2 plasma Pt 식각
저자
O BEOM HOAN
학회명
한국반도체학술대회

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