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스퍼터 증착된 Al-Mg 합금 박막의 미세구조 형성거동과 박막특성

제목
스퍼터 증착된 Al-Mg 합금 박막의 미세구조 형성거동과 박막특성
저자
SANG SUB KIM
학회명
2012 한국표면공학회 춘계학술대회
개최지
수원 성균관대
학회 개최일
2012-05-31 ~ 2012-06-01

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