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압전작동기를 이용한 레이저 스캐닝 미러의 위치제어
Position Control of Laser Scanning Mirror Using Piezoelectric Actuator
초록
압전 작동기를 이용한 레이저 스캐닝미러 시스템의 위치추적제어에 관한 연구를 수행하였다. 압전 작동기의 전단모드를 사용하여 레이저 스캐닝 미러(LSU)의 구동부를 만들었고 변위를 확대하기 위하여 토션바를 부착하였다. 압전 작동기의 공진 주파수를 유한요소법을 사용하여 구하였으며 토션바의 공진주파수를 이것과 일치시켜서 변위를 최대로 확대하였다. PID 제어기를 사용하여 제어한 결과 정현파 곡선을 잘 추적하는 것으로 밝혀졌다. 실험제작을 통하여 이론적인 결과를 확인하는것이 필요하다.
- 제목
- 압전작동기를 이용한 레이저 스캐닝 미러의 위치제어
- 제목 (타언어)
- Position Control of Laser Scanning Mirror Using Piezoelectric Actuator
- 저자
- KIM JAEHWAN
- 학회명
- 한국정밀공학회