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Physical and chemical properties of oxynitride glass for plasma etching resistance

  • KIM HYUNG SUN
제목
Physical and chemical properties of oxynitride glass for plasma etching resistance
저자
KIM HYUNG SUN
학회명
2008년 한국세라믹학회
개최지
경기대학교 수원캠퍼스 호연관(9강의동)
학회 개최일
2008-10-24 ~ 2008-10-25

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