졸겜법에 ㅡ이한 이트리아 안정화 지르코니아박막의 결정화

초록

이트리아 안정화 지르코니아는 전해질 영역이 넓고 화학적 안정성이 우수한 산소이온 전도체로서 산소센서에 적용되고 있으며, 최근 두께 감소로 인한 저항치의 감소특성 등 여러면에 있어서 잇점을 지니고 있는 박막형센서의 연구가 활발히 진행되고있다. 이에 본 연구에서는 비교적 제조가 용이한 졸겔법을 이용하여 YSZ 고체전해질막을 제조하고, 그 결정화과정을 조사하여 박막형 고체전해질로서의 적용 가능성을 평가하였다.